- Код статьи
- S0044466925040085-1
- DOI
- 10.31857/S0044466925040085
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 65 / Номер выпуска 4
- Страницы
- 515-527
- Аннотация
- Рассматривается два алгоритма широкополосного оптического контроля процесса напыления оптических покрытий: без решения дополнительной обратной задачи уточнения толщин уже напыленных слоев и с ее решением. Показано, что уточнение толщин уже напыленных слоев приводит к уменьшению ошибок в толщинах слоев, но не всегда обеспечивает более точную реализацию требуемых спектральных свойств покрытия. Впервые продемонстрировано, что при выборе алгоритма контроля следует принимать во внимание наличие эффекта самокомпенсации ошибок. Библ. 10. Фиг. 8. Табл. 7.
- Ключевые слова
- математическое моделирование вычислительные алгоритмы обратные задачи, оптические покрытия напыление покрытий широкополосный контроль корреляция ошибок самокомпенсация ошибок
- Дата публикации
- 17.09.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 27
Библиография
- 1. Macleod H.A. Thin-Film Optical Filters. Taylor & Francis 4th ed., 2010.
- 2. Furman Sh.A., Tikhonravov A.V. Basics of Optics of Multilayer Systems. Edition Frontieres, Gif-sur-Yvette, 1992.
- 3. Piegari A., Flory F. Optical Thin Films and Coatings. Woodhead Publishing, 2nd ed., 2018.
- 4. Tikhonravov A. Optical Coatings: design, characterization, monitoring // SPIE, Bellingham, WA, United States, 2024.
- 5. Bousquet P., Fornier A., Kowalczyk R. et al. Optical filters: monitoring process allowing the auto-correction of thickness errors // Thin solid films. 1972. V. 13. P. 285–290.
- 6. Tikhonravov A., Kochikov I., Sharapova S., and Yagola A. Optical monitoring of coating production: correlation of errors and errors self-compensation // Proceed. of SPIE – Inter. Soc. Optic. Engineer. 2021. V. 11872. P. 1–7.
- 7. Sharov A.N., Lukyanenko D.V., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Evaluation of the efficiency of a simplified simulator of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 2. P. 135–144.
- 8. Sharov A.N., Sharapova S.A., Tikhonravov A.V., and Yagola A.G. Consideration of the distribution of noise level by wavelength in broadband control of the optical coating deposition process // Moscow Univer. Phys. Bull. 2024. V. 79. № 1. P. 1–6.
- 9. Tikhonravov A.V., Lagutina A.A., Lagutin Iu.S., Lukyanenko D.V., Sharapova S.A., Sharov A.N., and Yagola A.G. On the choice of monitoring procedure of optical coating deposition // Moscow Univer. Phys. Bull. 2023. V. 78. № 6. P. 783–789.
- 10. Lagutina A.A. Comparison of monochromatic monitoring strategies for the deposition process of optical coatings // Moscow Univer. Phys. Bull. 2022. V. 77. № 6. P. 818–824.
