By this author

CHOOSING THE BROADBAND MONITORING ALGORITHM FOR THE DEPOSITION PROCESS OF OPTICAL COATINGS WITH ACCOUNTING FOR THE SELF-COMPENSATION EFFECT OF ERRORS

Issue number 4 from 01.04.2025

Рассматривается два алгоритма широкополосного оптического контроля процесса напыления оптических покрытий: без решения дополнительной обратной задачи уточнения толщин уже напыленных слоев и с ее решением. Показано, что уточнение толщин уже напыленных слоев приводит к уменьшению ошибок в толщинах слоев, но не всегда обеспечивает более точную реализацию требуемых спектральных свойств покрытия. Впервые продемонстрировано, что при выборе алгоритма контроля следует принимать во внимание наличие эффекта самокомпенсации ошибок. Библ. 10. Фиг. 8. Табл. 7.

75 0